Pêşgotina Fotoresîst
Fotoresîst, ku wekî fotoresîst jî tê zanîn, behsa materyalek fîlimek zirav dike ku çareseriya wê dema ku di bin ronahiya UV, tîrêjên elektron, tîrêjên îyonê, tîrêjên X, an tîrêjên din de tê, diguhere.
Ji rezîn, fotoîntîatorek, çareserkerek, monomerek û lêzêdekirinên din pêk tê (li Tabloya 1 binêre). Rezîna fotoberxwedêr û fotoîntîator pêkhateyên herî girîng in ku bandorê li performansa fotoberxwedêr dikin. Di dema pêvajoya fotolîtografiyê de wekî pêçek dij-korozyonê tê bikar anîn.
Dema ku rûyên nîvconductor têne hilberandin, karanîna fotoresîstek bijartî ya guncan dikare wêneya xwestî li ser rûyê biafirîne.
Tabloya 1.
| Malzemeyên Fotoresîst | Birêvebirinî |
| Çareserkerê | Ew fotoresîstê dike şilew û bêîstîqrar, û hema bêje ti bandorê li ser taybetmendiyên kîmyewî yên fotoresîstê nake. |
| Photoinitiator | Ew wekî fotosensîtîzer an jî ajana fotokurkirinê jî tê zanîn, pêkhateya fotosensîtîf a di materyalê fotoberxwedêr de ye. Ew cureyek pêkhateyê ye ku piştî kişandina enerjiya ronahiya ultraviyole an jî ronahiya dîtbar a bi dirêjahiya pêlê ya diyarkirî, dikare bibe radîkalên azad an katyonan û reaksiyonên girêdana kîmyewî di monomeran de bide destpêkirin. |
| Resîn | Ew polîmerên bêbandor in, û wekî girêdan tevdigerin da ku materyalên cûda yên di fotoresîstê de bi hev re bigirin, û taybetmendiyên mekanîkî û kîmyewî didin fotoresîstê. |
| Monomer | Ew wekî diluentên çalak jî têne zanîn, molekulên piçûk in ku komên fonksiyonel ên polîmerîzekirî dihewînin û pêkhateyên giraniya molekulî ya kêm in ku dikarin beşdarî reaksiyonên polîmerîzasyonê bibin da ku rezînên giraniya molekulî ya bilind çêbikin. |
| Tiştênbiserre | Ew ji bo kontrolkirina taybetmendiyên kîmyewî yên taybetî yên fotoresîstan tê bikar anîn. |
Fotorezîst li gorî wêneya ku çêdikin di du kategoriyên sereke de têne dabeş kirin: erênî û neyînî. Di dema pêvajoya fotorezîstê de, piştî eşkerekirin û pêşveçûnê, beşên eşkere yên pêçanê dihelin, beşên ne eşkerekirî dimînin. Ev pêç wekî fotorezîstek erênî tê hesibandin. Ger beşên eşkerekirî bimînin dema ku beşên ne eşkerekirî dihelin, pêç wekî fotorezîstek neyînî tê hesibandin. Li gorî çavkaniya ronahiya eşkerekirinê û çavkaniya tîrêjê, fotorezîst bêtir wekî UV (di nav de fotorezîstên UV yên erênî û neyînî), fotorezîstên UV yên kûr (DUV), fotorezîstên tîrêjên X, fotorezîstên tîrêjên elektronê, û fotorezîstên tîrêjên îyonê têne dabeş kirin.
Fotorezîst bi giranî di hilberandina şablonên hûrkirî de di panelên nîşandanê, çerxên entegre û cîhazên nîvconductor ên cuda de tê bikar anîn. Teknolojiya hilberînê ya li pişt fotorezîstê tevlihev e, bi cûrbecûr celeb û taybetmendiyên hilberan. Çêkirina çerxên entegre yên pîşesaziya elektronîkê şertên hişk li ser fotorezîsta ku tê bikar anîn ferz dike.
Ever Ray, hilberînerek bi 20 sal ezmûna pispor di hilberîn û pêşxistina rezînên fotokurabîner de, bi kapasîteya hilberîna salane ya 20,000 ton, rêzek hilberên berfireh, û şiyana xwerûkirina hilberan pesnê xwe dide. Di fotoresîst de, Ever Ray rezîna 17501 wekî pêkhateya sereke heye.
